Pillar Growth by Focused Electron Beam Induced Deposition using a Bimetallic Precursor as Model System: High Energy Fragmentation vs Low Energy Decomposition
Inhalt
Bei Co3Fe FEBID Pillars haben wir völlig überraschend einen nur wenige Nanometer dicken Kanal entlang der langen Zentralachse entdeckt. TEM Untersuchungen haben dann ergeben, dass der Kern besonders viel Eisen (Eisencarbid) enthält, während in der Hülle die typische Co:Fe ratio von 3:1 (wie im Precursor selbst) zu finden ist. Für das Verständnis von FEBID ist das insofern etwas Neues, weil hier zwei unterschiedliche Dissoziation-Mechanismen direkt sichtbar werden: einen bei hohen Energien (Fe-reicher Core) und einen weiteren bei niedrigen Energien (Sekundärelektronen Co3Fe).
Beitrag des FELMI-ZFE
Ganz wichtig war hier der 14-tägige Juli Besuch von Sven Barth aus Frankfurt, der „Erfinder“ dieses speziellen Precursors. Dabei haben wir eingangs die TEM Daten vom Thomas Maierhofer und David Kuhness an unseren Co3Fe (MFM) Spitzen genau analysiert und in weiteren TEM-EDX Experimente schließlich die entscheidenden Hinweise für und den nun publizierten Mechanismus geliefert.
